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我司增加白光干涉量測膜厚及臺階高度差功能

編輯：管理員   瀏覽：  日期：2014-11-18

2014年7月我司增加白光干涉量測膜厚及臺階高度差功能，為國內(nèi)首創(chuàng)，代表儀器WX5A(MTM-3020MA) 。高倍率影像測量，配尼康金相顯微鏡實(shí)現(xiàn)明場、暗場、偏光和DIC導(dǎo)電粒子觀察，代表儀器WX6(MTM-5040M) ；全自動大行程測量型金相顯微鏡，代表儀器WX7(MTM-6090H)

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